电子级超纯水设备-工业电子用水标准和工艺

中国国家电子超纯水规格GB/T1146.1-1997电子级水的技术指标应符合表中的规定。 级别/指标 EW-I EW-II 电阻率MΩ.cm(25℃) 18以上(95%时间)不低于17 15(95%时间)不低于13 硅≤µg/l 2 10 >1µM微粒数≤个/ml 0.1 5 细菌个数≤个/ml 0.01 0.1 铜≤µg/l 0.2 1 锌≤µg/l 0.2 1 镍≤µg/l 0.1 1 钠≤µg/l 0.5 2 钾≤µg/l 0.5 2 氯≤µg/l 1 1 硝酸根≤µg/l 1 1 磷酸根≤µg/l 1 1 硫酸根≤µg/l 1 1 总有机碳≤µg/l 20 100 电子级超纯水设备常用工艺(水质符合美国ASTM标准,电子部超纯水水质标准(18MΩ*cm,15MΩ*cm,2MΩ*cm和0.5MΩ*cm四级)1.预处理-反渗透- 水箱-阳床-阴床-混合床-纯化水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-精制混床-精密过滤器-用水对象2.预处理-一级反渗透-加药机(PH调节)-中间水箱-第二级反渗透(正电荷反渗膜)-纯化水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-0.2或0.5μm精密过滤器-用水对象3.预处理-反渗透-中间水箱-水泵-EDI装置-纯化系统水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-0.2或0.5μm精密过滤器-用水对象4.预处理-反渗透-中间水箱-水泵-EDI装置-纯化水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-精制混床-0.2或0.5μm精密过滤器-用水对象 电子级超纯水设备应用场合: 1.GMP纯化水半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路;2.超纯材料和超纯化学试剂;3.实验室和中试车间;4.汽车、表面抛光处理;5.其他高科技精微产品。 本文关键词:电子级超纯水设备 EDI超纯水设备 工业电子用超纯水设备东莞市杰邦水处理有限公司

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