RTP快速升降温退火炉 的详细介绍 RTP快速升降温退火炉 MXG1200-150-SL-RTP 开启式RTP快速升降温退火炉，是由我公司自主研发的高性能热处理设备。本产品采用制造工艺，造型新颖结构合理，炉体上下两半设计，可自由打开闭合，安全可靠，炉管外径150mm，炉膛采用高纯氧化铝纤维材料真空吸附成型，表面涂有高反射率高温保护涂层，既能降低热量损耗，还能提高炉内温度稳定性。试验样品放置于密封的石英管内，内部洁净度高，可降低间接污染的可能。已广泛用于半导体器件研发及生产等领域，该系统可满足离子注入后的快速退火，也可用于欧姆接触快速合金，还可用于硅化物合金退火，氧化物生长，以及铜铟镓硒光伏应用中的硒沉积等快速热处理工艺场合。本产品采用红外加热，升温速度快达30℃/S，炉体下部配有轨道，可左右移动至底部风扇处，以达到快速冷却的目的。 技术参数 项目 主要技术指标 数据 规格型号 MXG1200-150-SL-RTP 温度控制 温度点 1200℃ 额定温度 1100℃ 稳定状态温度范围 200-1050℃ 温度测量精度 ±0.2℃ 温度控制重复性 ±1℃ 温度控制精确度 ±1℃ 温度均匀性 ±2℃ 温度状态工艺时间 7-32 S（200-1050℃） 升温速率 30℃/S（可按需定制） 降温速率 1-200℃（将试样移出加热区域或通氮气可加快降温） 温度控制模式 智能模糊PID全闭环控制 触摸屏 尺寸 7寸LCD 工控 物理指标 功率 27 Kw 额定电压 AC380V，50/60Hz 测温元件型号 K型热电偶 石英管规格 Φ150*1500 真空度 选配分子泵真空度可达6*10-3Pa 抽气端口尺寸 KF40或Φ6mm 进气端口尺寸 Φ6mm 冷却方式 自然冷却或强迫风冷N2或压缩空气：2psi（0.14kg/cm2）– 7psi（0.5kg/cm2） 外形尺寸 深600*宽1520*高700 设备重量 100Kg
标签： 传感器设备